分光干涉位移型多层膜厚测量仪

si-t 系列

产品规格 : 分光干涉位移型多层膜厚测量仪 | 基恩士中国官方网站-凯发k8官网下载客户端中心

控制器

型号

si-t1000v

si-ta100

图像

类型

主控制器 一体型

扩展控制器*4

独立型

si-t1000/si-td500

si-ta100

可连接的光谱单元数

2 台

1 台

显示

最小显示单位

0.001 µm

显示范围

±999.999 μm到 ±9999.99 mm(可选 7 种设定)

显示频率

10 次/ 秒

端子台

激光远程联锁输入

无电压输入*1

*1

计时 1 输入

无电压输入2*1

复位 1 输入

无电压输入*1

自动归零 1 输入

激光控制输入

模拟输出电压

±10v ×2 输出, 输出阻抗100ω*1

±10v ×1 输出, 输出阻抗100ω*1

模拟电流输出

4 到20ma ×2 输出, 最大负载阻抗 350ω*1

4 到20ma ×1 输出 , 最大负载阻抗 350ω*1

报警输出

npn 开集极输出(n.c.)*1

*1

一般比较器输出

npn 开集极输出*1

扩展连接器

计时输入

无电压输入2*1

复位输入

无电压输入*1

自动调零输入

程序切换输入

无电压输入 ×3 输入*1

报警输出

npn 开集极输出(n.c.)*1

判定、二进位输出

二进制输出

测量数据输出(21bit) , 可选out
npn 开路集电极输出*1

选通脉冲输出

npn 开集极输出*1

二进制选择器输出

二进制选择输入

无电压输入*1

rs-232c 接口

测量数据输出和控制输入/ 输出
( 波特率最高可选择 115200 bps)

usb 接口

兼容usb2.0 hi-speed( 兼容usb1.1 full-speed)

ethernet 接口

100base–tx/10base–t

主要功能

测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12out 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等

额定

电源电压

24vdc±10% 脉动10%(p–p)以下

随主控制器提供

消耗电流

连接1 个传感头时 0.6a 以下
连接6 个传感头时 1.5a 以下

环境抗耐性

环境温度

0 到 50°c*2

0 到 50°c*5

相对湿度

35 到85%rh 无冷凝

抗震性

10 到55hz,xyz 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时*3

重量

约600g

约300g

*1 npn 开路集电极输出额定输出:最大 50ma(最大 40v),残余电压最大 0.5v
无电压额定输入:启动电压 最大 1v,关闭电流最大 0.6ma
本机的各输入/输出电路,部分是内部共用电路。请注意,内部公共端子之间不会因连接线/外部设备间的电位差而产生电位差。
*2 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°c。
*3 当连接 2 台或更多扩展控制器时,抗震性为“10 到 55hz ,xyz方向上 0.3 mm 双倍振幅,各2小时”。
*4 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。
*5 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°c。

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传感头

型号

si-t10*1

si-t80

图像

类型

多层位移测量型 传感头

长距离厚度测量型 传感头

分光单元

si-t10u

si-t80u

测量范围 (折射率n=1)

0.01 到1.0 mm

参考距离

9 mm*2

80 mm*2

测量用光源

红外sld , 输出1 mw , 1 类激光产品(iec60825-1)

光束直径

ø30 µm*3

φ25 μm*3

线性度

±0.3 µm*4

±0.3 µm*7

分辨率

0.01 µm (0.25 µm)*5*6

0.01 µm*6

采样周期

1 ms

led显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

环境抗耐性

外壳防护级

ip64

环境光照

白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

环境温度

0 到 40°c

0 到 50°c

相对湿度

35 到85%rh(无冷凝)

抗震性

10 到55hz,xyz 方向上1.5 mm
双倍振幅,各2 小时

材料

sus304

重量

约 70g (含连接线)

*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
*2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*3 表示测量范围内的最小光束直径。
*4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
*6 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值
*7 当测量对象是 2 块玻璃板的间隙厚度,并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值

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专用 pc 软件

型号

si-h1t*1

图像

类型

pc软件

支持 os

windows 10*2/windows 7( sp1 以后)*3/windows vista( sp2 以后)*4/windows xp( sp3 以后)*5

cpu

pentium ⅲ 1ghz 以上(建议使用1.7ghz 以上)

存储器容量

256mb 以上(建议使用1gb 以上)

硬盘可用空间

1gb 以上

显示器

1024x768 像素、24bit 真彩色以上

pc接口

配置有以下任意一种接口:
usb :revision2.0 高速(usb1.1 兼容时全速)*6
lan :100base-tx、10base-t*7
rs-232c(串口)

*1 用户使用的os应在建议运行环境以上版本的环境中使用。
*2 支持 home、pro、enterprise 的各 edition。
*3 支持 home premium、professional、ultimate 的各 edition。
*4 支持 ultimate、business、home premium、home basic 的各 edition。
*5 支持 professional edition 及 home edition。
*6 经由 usb 集线器的连接,不属于保修对象。
*7 与 lan 之间的连接及经由路由器的连接,不属于保修对象。

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