分光干涉位移型多层膜厚测量仪

si-t 系列

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si-td500 - 显示面板

  • ce 标志概述

规格

型号

si-td500

类型

主控制器 独立型*1

可连接的光谱单元数

2 台

显示

最小显示单位

0.001 µm

显示范围

±999.999 μm到 ±9999.99 mm(可选 7 种设定)

显示频率

10 次/ 秒

端子台

激光远程联锁输入

无电压输入*2

计时 1 输入

无电压输入2*2

复位 1 输入

无电压输入*2

自动归零 1 输入

激光控制输入

模拟输出电压

±10v ×2 输出, 输出阻抗100ω*2

模拟电流输出

4 到20ma ×2 输出, 最大负载阻抗 350ω*2

报警输出

npn 开集极输出(n.c.)*2

一般比较器输出

npn 开集极输出*2

扩展连接器

计时输入

无电压输入2*2

复位输入

无电压输入*2

自动调零输入

程序切换输入

无电压输入 ×3 输入*2

报警输出

npn 开集极输出(n.c.)*2

判定、二进位输出

二进制输出

测量数据输出(21bit) , 可选out
npn 开路集电极输出*2

选通脉冲输出

npn 开集极输出*2

二进制选择器输出

二进制选择输入

无电压输入*2

rs-232c 接口

测量数据输出和控制输入/ 输出
( 波特率最高可选择 115200 bps)

usb 接口

兼容usb2.0 hi-speed( 兼容usb1.1 full-speed)

ethernet 接口

100base–tx/10base–t

主要功能

测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12out 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等

额定

电源电压

24vdc±10% 脉动10%(p–p)以下

消耗电流

连接1 个传感头时 0.6a 以下
连接6 个传感头时 1.5a 以下

环境抗耐性

环境温度

0 到 50°c*3

相对湿度

35 到85%rh 无冷凝

抗震性

10 到55hz,xyz 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时*4

重量

约600g

*1 可独立使用 si-t1000。可使用显示屏(si-td500)或设定支持软件(si-h1t)显示测量值并更改设定。
*2 npn 开路集电极输出额定输出:最大 50ma(最大 40v),残余电压最大 0.5v
无电压额定输入:启动电压 最大 1v,关闭电流最大 0.6ma
本机的各输入/输出电路,部分是内部共用电路。请注意,内部公共端子之间不会因连接线/外部设备间的电位差而产生电位差。
*3 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°c。
*4 当连接 2 台或更多扩展控制器时,抗震性为“10 到 55hz ,xyz方向上 0.3 mm 双倍振幅,各2小时”。

其他型号