分光干涉式晶片厚度计 -凯发k8官网下载客户端中心

采用近红外 sld，即使已贴附 bg 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。