分光干涉式激光位移计 | 基恩士中国官方网站-凯发k8官网下载客户端中心

产品阵容

si-t 系列 - 分光干涉位移型多层膜厚测量仪

实现多层膜厚, 采用近红外光・没有危害, 实时在线检测,一秒1000次的采样频率,为当今膜厚测量仪的提供新的可能性。

si-f 系列 - 微型传感头型分光干涉式 激光位移计

业界超细微型传感器头,超高精度,无一般传感器的发热问题,也不受电磁噪声影响。

si-f80r 系列 - 分光干涉式晶片厚度计

采用近红外 sld,即使已贴附 bg 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。